壓力變送器發(fā)展的四個標志階段

更新時間：2015-08-03瀏覽：1072次

壓力變送器從他的發(fā)明到現在，大體上經歷了4個階段，分別是發(fā)明階段(1945 - 1960 年)，技術發(fā)展階段(1960 - 1970 年)，商業(yè)化集成加工階段(1970 - 1980 年)以及微機械加工階段(1980 年- 今)。

　　1、發(fā)明階段(1945 - 1960 年)

　　壓力變送器的發(fā)明階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標志，此后的很長一段時間，半導體材料這一特性得到了廣泛的應用。

　　2、技術發(fā)展階段(1960 - 1970 年)

　　隨著硅擴散技術的發(fā)展,技術人員在硅的(001) 或(110) 晶面選擇合適的晶向直接把應變電阻擴散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片，稱為硅杯。這種變送器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化等優(yōu)點，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。

　　3、商業(yè)化集成加工階段(1970 - 1980 年)

　　在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術，擴散硅變送器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術為主，發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術，主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數千個硅壓力膜可以同時生產,實現了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低。

　　4、微機械加工階段(1980 年- 今)

　　過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力變送器,其線度可以控制在微米級范圍內。利用這一技術可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜，使得壓力變送器進入了微米階段。

　　壓力變送器的主要分類：

　　1、差壓變送器

　　差壓變送器是測量兩壓腔之間所受壓力差值的壓力變送器，差壓變送器分別有“+”和“-”兩個壓腔。分別承接兩作為比較值的壓力，通常把壓力較大的一端作為“+”壓腔。

　　2、壓力變送器：

　　壓力變送器是以真空度為參考零點的一款壓力變送器。在使用過程中，傳感器的參考零點可以隨地點地域的變換而自動調整無需校正。外形與表壓型壓力變送器無二致。

　　3、表壓型壓力變送器：

　　表壓型壓力變送器是以當地大氣壓作為參考零點的壓力變送器。

　　4、中高溫壓力變送器：

　　針對測量現場環(huán)境溫度過高或者測量介質溫度過高，必須使用中高溫壓力變送器，該變送器具有較好的零點溫度系數和靈敏度溫度系數，在溫度較高的環(huán)境下能夠保證測量精度。在訂購該類型變送器時須告知測量介質溫度和環(huán)境溫度，以為方便制作方合理應對。

　　5、投入/插入式液位變送器：